ダイヤモンド、DLC成膜装置

ダイヤモンドは地球上で最も硬い物質で、耐食性も良く、熱伝導性も優れています。またホウ素をドーピングしたダイヤモンド膜は電気を通すようになり、優れた電気化学的特性と優れた耐食性から電極材料として期待されています。
ダイヤモンドライクカーボンは優れた摺動特性、非溶着性、絶縁性、赤外透化性、生体適合性等の特長があり、各種の摺動部品、切削工具、金型、光学部品、医療用途への展開が期待されています。

成膜装置

実験用の熱フィラメントCVD装置です。貴社のご要望に応じて装置を設計します。

簡便にダイヤモンドの成膜ができるよう小型の熱フィラメントCVD装置を開発しました。チャンバーはアルミ合金製で作っており、強制空冷しております。従って、100V電源とガスだけ用意していただければダイヤモンドの成膜ができます。

モード変換型のマイクロ波CVD装置です。
大学での実験装置としてご使用いただいております。

直流の高電圧パルス放電を利用したダイヤモンドライクカーボン用プラズマCVD装置です。原料ガスはメタンまたはアセチレンを選択できます。

RF（13.56MHz)を使用したプラズマCVD装置です。絶縁物でもDLCの成膜が可能です。