真空コンポーネント

特殊な真空コンポーネントは弊社の得意とする分野です。弊社のものづくりネットワークで貴社のご要望にたいおういたします。
大型装置に使用する特殊なコンポーネントも設計製作します。どのようなことでもお気軽にご相談ください。

金属の薄板を溶接した後、液圧成形して水路を形成した熱交換用パネルです。

金属の薄板を溶接した後、液圧成形して水路を形成した熱交換用パネルです。

高速回転するスリットを通してハースなどの溶融部を観察するためのビューポートです。ガラスは電子ビームによるX線を遮蔽するために鉛ガラスを使用しています。遮光ガラスの取付も可能です。

サーボモーター制御のアングルバルブです。開閉コンダクタンス制御が可能です。

MOCVD用のシャワープレートです。0.2mmの穴が約4500個開いています。プレート内は熱媒を通すことができます。

大型スパッタ装置用のプラズマ作動ガス（アルゴン）と反応ガスを供給するガスノズルです。作動ガスと反応ガスはチャンネル内で混合します。ガスの濃度分布が出ないようにガス流路は等長としています。内部ノズルの交換によりガス分布の調整も可能です。

RFプラズマCVD用の電極です。ダークスペースシールドと一緒に組み込まれています。