真空コンポーネント

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真空装置用コンポーネント

特殊な真空コンポーネントは弊社の得意とする分野です。弊社のものづくりネットワークで貴社のご要望にたいおういたします。
大型装置に使用する特殊なコンポーネントも設計製作します。どのようなことでもお気軽にご相談ください。

水冷パネル

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金属の薄板を溶接した後、液圧成形して水路を形成した熱交換用パネルです。


ロッドフィードハース

ロッドフィードハース.pdf
金属の薄板を溶接した後、液圧成形して水路を形成した熱交換用パネルです。


回転式ビューポート

回転ビューポート.pdf
高速回転するスリットを通してハースなどの溶融部を観察するためのビューポートです。ガラスは電子ビームによるX線を遮蔽するために鉛ガラスを使用しています。遮光ガラスの取付も可能です。


サーボバルブ

サーボバルブ.pdf
サーボモーター制御のアングルバルブです。開閉コンダクタンス制御が可能です。


シャワープレート

シャワープレート.pdf
MOCVD用のシャワープレートです。0.2mmの穴が約4500個開いています。プレート内は熱媒を通すことができます。


ガスディストリビューター

ガスディストリビューター.pdf
大型スパッタ装置用のプラズマ作動ガス(アルゴン)と反応ガスを供給するガスノズルです。作動ガスと反応ガスはチャンネル内で混合します。ガスの濃度分布が出ないようにガス流路は等長としています。内部ノズルの交換によりガス分布の調整も可能です。


水冷電極

水冷電極.pdf
RFプラズマCVD用の電極です。ダークスペースシールドと一緒に組み込まれています。